Яцишин Б. П. Фізико-технологічні критерії модифікації нанорозмірних плівок систем {Sc, La, Y, Hf}-{Fe, Co, Ni}-Ge для сенсорних пристроїв

У дисертації сформульовані основні методологічні підходи до визначення та оцінювання властивостей і характеристик аморфних та закристалізованих нанорозмірних плівок. Запропоновано класифікацію нанорозмірних матеріалів та систем. Встановлено вплив технологічних чинників процесу напилення на формування структури та електрофізичні та термоелектричні властивості нанорозмірних матеріалів. Висвітлюються питання електропровідності, явищ виникнення термоелектрорушійної сили у масивних зразках та тонких плівках аморфних сплавів та кристалічних сполук систем {Sc, La, Y, Hf}-{Fe, Co, Ni}-Ge, а також проводиться порівняння з характеристиками бінарних сплавів рідкісноземельних металів та гранульованими плівками на основі алюмінію.Узагальнені результати комплексних досліджень структури та фізичних властивостей аморфних та нанокристалічних матеріалів, визначено характер впливу компонентів на часові характеристики, зміни структури та електричні властивості нанорозмірних плівкових матеріалів, проведено дослідження та теоретично обґрунтовано зміни їх електропровідних властивостей. Встановлено на основі електрофізичних досліджень еволюцію зонної структури нанорозмірних аморфних та закристалізованих тонкоплівкових композицій, а також на технології отримання наноструктур, перспективах отримання матеріалів з унікальними властивостями. Дослідженно вплив технологічних чинників (вмісту та природи компонентів, термодинамічних умов конденсації, температурних режимів формування) на електрофізичні і структурні характеристики нанорозмірних матеріалів, що дозволило їх використати для створення високочутливих та стабільних сенсорів.