Пилипів В. М. Дефекти, деформації та магнітна структура модифікованих ферит-гранатових плівок.

Робота присвячена вивченню взаємозв'язку структурних дефектів, параметрів профілю деформації та магнітної мікроструктури приповерхневих шарів плівок залізо-ітрієвого ґранату (ЗІҐ), а також встановленню фізичних закономірностей трансформації магнітної мікроструктури цих плівок під впливом імплантації йонами різної маси (F+, O+, P+, Si+) і наступної термічної обробки. Встановлено, що при імплантації легкими йонами F+ та O+ з початковою енергією 90 кеВ домінують електронні енергетичні втрати, а йонами середніх мас P+ (65 кеВ) та Si+ (90 кеВ) - ядерні. В першому випадку енергетичні втрати імплантованого йона при гальмуванні в ґранатовій структурі спрямовані, в основному, на утворення треку із пар Френкеля, а в другому цих втрат достатньо для розвитку каскадів вторинних зіткнень з утворенням дефектів протяжного типу. Встановлено основні типи структурних дефектів в об'ємах підкладки і плівки (сферичні кластери, дислокаційні петлі) та знайдено їх характеристики (радіус, концентрація) та параметри профілю деформації в перехідних шарах підкладка-плівка і плівка-повітря. Отримано залежності характеристик структурних дефектів та параметрів профілів деформації в приповерхневих шарах плівок ЗІҐ від режимів йонної імплантації і типу імплантованого йона.