Першин Ю. П. Міжфазна взаємодія в багатошарових нанорозмірних композиціях на основі кремнію

Показано, що в БНК Me/Si (Me: Sc, Mo, W) продуктами взаємодії є аморфні прошарки (АП) з відносно високим вмістом в них атомів кремнію (ScSi1+x; WSi2-x; Mo5Si3) на міжфазих межах Me-на-Si і переважним вмістом атомів металу (ScSi1-x; WSi0,6±x; Mo3Si) на міжфазних межах Si-на-Me. Фазовий склад аморфних прошарків в БНК Mo/Si істотно відрізняється від традиційно використовуваного MoSi2 при описі їх структури. Процес міжфазної взаємодії можна сильно послабити, якщо зменшити енергію атомів, які розпилюються, шляхом передачі її частини атомам робочого газу при підвищеному тиску аргону або якщо використовувати бар'єрні шари. Розроблено методику оцінки фазового складу аморфних прошарків. Вона заснована на прецизійному вимірюванні відносних об'ємних змін в періодичних БНК, які супроводжують утворення силіцидних прошарків. Придушення МФ-взаємодії призводить до значного зростання відбивної здатності БНК в області м'якого рентгенівського випромінювання (1 <  < 50 нм). Реконструйовано моделі будови БНК, які є функцією товщини металу або бар'єрного шару. Це дало можливість створити рентгенівську оптику і отримати зображення нанооб’єктів.