Гермаш Л. П. Распределение элементов по фазам и состояниям в системах "конденсированная металлическая пленка - кристаллическая подкладка"

Объект исследования: Закономерности распределения элементов по фазам и состояниям в системах "конденсированная металлическая пленка-кристаллическая подкладка" и особенности формирования и свойства токних пленок тугоплавких металлов. Цель исследования: Исследование влияния конденсированного металла и условий нанесения моно- и биметаллических пленок на состав конденсатов, состояние атомов на поверхности металлической пленки, распределение элементов по глубине и формирование переходного слоя "пленка-подкладка". Методы исследования и аппаратура: Оже-электронной, рентгенофотоэлектронной спектроскопии, вторичной ионной масс-спктроскопии, электронографии, электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа; измерение физических и технологических свойств; разработанный метод кластерного моделирования. Теоретические результаты и новизна: Установлены общие закономерности формирвоания характерных зон в структурах "тонкая пленка тугоплавкого металла-кристаллическая подкладка"; показано, что имеет место корреляция между распределением кислорода по фазам и состояниям и энергией связи Me-O в кислородосодержащих соединениях. Практические результаты и новизна: На основе установленых физических закномерностей разработаны технологии получения и термической обработки металлических электродов интегральных матриц на сегнетоп "езокерамике, кремнии, карбиде кремния, чувствительных эелементов датчиков давления и температуры". Предмет и степень внедрения: Разработанные технологии внедрены в промышленное производство на заводе "Аврора" и др. Эффективность внедрения: 150 тыс. руб в год. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, приборостроение, технология производства радиоаппаратуры.