Павленко А. А. Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых СВЧ-приборов

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0593U000341

Облікова картка дисертації

0593U000341.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

27-09-1993

Спеціалізована вчена рада

Д 068.18.15

Анотація

Объект исследования: Кремний и приборы на основе кремния и арсенида галлия. Цель исследования: Разрабока ядерных методов легирования и геттерирования. Методы исследования и аппаратура: Ядерные установки и электрофизические мтеоды исследования. Теоретические результаты и новизна: Физические основы новых методов. Практические результаты и новизна: Новые практические способы ядерного легирования и геттерирования. Предмет и степень внедрения: Методы геттерирования внедрены на предпряитиях "Сатурн" и "Орион". Эффективность внедрения: 242 тыс. руб. в ценах 1988 г. Сфера (область) использования: Электронная промышленность.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів