Макогон Ю. Н. Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0593U000370

Облікова картка дисертації

0593U000370.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

20-10-1993

Спеціалізована вчена рада

Д 016.37.01

Анотація

Объект исследования: Тонкие пленки силицидов переходных металлов на кремнии. Цель исследования: Установление закономерностей процессов формирования фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов. Методы исследования и аппаратура: Методы физико-химического анализа пленок. Теоретические результаты и новизна: Научные основы создания новых технологических режимов формирования структурно-фазовых состояний пленок силицидов переходных металлов на кремнии. Эффективность внедрения: Экономический эффект за период 1984-1990 гг - 8 млн.76 тыс. руб. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектроники.

Читати повністю

Схожі дисертації

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів

0521U102118

Корнющенко Ганна Сергіївна

Структуроутворення і фізичні властивості близькорівноважних металевих, оксидних та багатокомпонентних конденсатів з нанорозмірними елементами

0421U104047

Сумарюк Олександр Васильович

Високоміцні композити на основі кремнеземистих і алюмосилікатних модифікаторів та методи їх діагностики