Филатов Ю. Д. Научные основы прецинзионного полирования поверхностей деталей из кремнеземсодержащих материалов

Объект исследования: Процесс прецизионного полирования поверхностей деталей из кремнеземсодержащих материалов. Цель исследования: Обоснование новой концепции прецинзионного формообразования поверхностей деталей из кремнесодержащих материалов. Методы исследования и аппаратура: Методы профилометрии, ВЧ-спектроскопии, оптической микроскопии, фототермостимулированной экзоэлектронной эмиссии. Теоретические результаты и новизна: Предложена кластерная модель износа инструмента и деталей в процессе полирования кремнеземсодержащих материалов. Практические результаты и новизна: Разработан новый полированный инструмент "Аквапол" и технология полирования им деталей из кремнесодержащих материалов. Предмет и степень внедрения: Инструмент "Аквапол" и технология полирования. Эффективность внедрения: Уменьшается трудоемкость полирования на 30% и затраты полировального порошка в 10 раз. Сфера (область) использования: Оптическое и электронное приборостроение.