Опачко И. И. Физика образования заряженных и нейтральных компонентов лазерной плазмы и их взаимодействие с поверхностью твердого тела

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0598U000108

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.05 - Оптика, лазерна фізика

26-03-1998

Спеціалізована вчена рада

Д 26.159.01

Інститут фізики Національної академії наук України

Анотація

Объект исследования: Лазерная плазма. Цель исследования: Взаимодействие компонент с поверхностью с помощью масс-спектрометрии. Методы исследования и аппаратура: Лазеры, масс-спектрометры. Теоретические результаты и новизна: Предложены модели напыления пленок, нагрева поверхности, очистка иллюминаторов. Практические результаты и новизна: Создан макет масс-спектрометра- проектного микроскопа, исследована корреляция ионной эмиссии с отраженными свойствами лазерной плазмы. Предмет и степень внедрения: Разработаны методы, созданы лабораторные макеты. Эффективность внедрения: Создание новых технологий и методов анализа. Сфера (область) использования: Аналитическая техника, технология напыления пленок.

Схожі дисертації