Теплов С. В. Моделирование механизма взаимодействия ионов средних энергий с твердым телом применительно к анализу поверхности и ее модификации

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0598U000227

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

11-06-1998

Спеціалізована вчена рада

Д 11.184.01

Анотація

Объект исследования: Поверхность твердого тела. Цель исследования: Анализ элементного сотава и структуры. Методы исследования и аппаратура: Бомбардировка поверхности ионными пучками, компьютерное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели механизмов взаимодействияионов с поверхностью. Практические результаты и новизна: Новые методы анализа поверхности и ее модификации. Предмет и степень внедрения: Алгоритмы обработки экспериментальных данных внедрены в ряде университетов и институтов. Эффективность внедрения: Высокая. Сфера (область) использования: Анализ материалов микроэлектроники.

Схожі дисертації