Волошко С. М. Термоиндуцированный массоперенос в поверхностных слоях и на границах раздела плоскослоистых систем на основе переходных металлов

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0598U000300

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.18 - Фізика і хімія поверхні

01-10-1998

Спеціалізована вчена рада

Д 26.210.01

Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України

Анотація

Объект исследования: Пленочные системы с металлическими и металлоксидными слоями. Цель исследования: Установление закономерностей термоиндуцированного массопереноса при относительно низких температурах (373-923К). Методы исследования и аппаратура: Электронная оже-спектроскопия (09ИОС-10-005), масс-спектрометрия вторичных ионов (МС7201), рентгенография (ДРН-2М). Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели термоиндуцированного массопереноса с учетом влияния процессов на внешней поверхности пленок. Практические результаты и новизна: Предложены методы расчета коэффициентов диффузии каждого компонента плоскослоистых систем и получены количественные диффузионные параметры по экспериментальным данным. Предмет и степень внедрения: Публикации в международных и отечественных журналах. Эффективность внедрения: Можно использовать при получении многослойных пленочных систем с заданными свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, нанотехнологии.

Схожі дисертації