Панчеха П. А. Размерные факторы формирования структуры и стабильность тонкопленочных слоистых композиций

Объект исследования: Тонкие пленки и пленочные композиции металлов, диэлектриков, полупроводников. Цель исследования: Установить влияние факторов малоразмерности на причины и закономерности релаксации пленочных объектов. Методы исследования и аппаратура: Электронная микроскопия (ЭМВ-100Л), рентгеновская дифрактометрия (ДРОН-4), лазерная спектрометрия (ЭМАЛ-2). Теоретические результаты и новизна: Впервые сформулированы и обоснованы научные положения о примесно-размерном и размерно-композиционных факторах структурообразования. Практические результаты и новизна: Разработаны физические основы технологии повышения качества и стабильности приборов на основе пленочных композиций. Предмет и степень внедрения: Технология повышения качества оксидно-полупроводниковых конденсаторов. Эффективность внедрения: Не определялась. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, твердотельная электроника, функциональные покрытия.