Яхневич У. В. Модифікація кристалів LiNbO3 шляхом термохімічних обробок у присутності іонів металів для пристроїв мікро- та наносистемної техніки

Роботу присвячено встановленню закономірностей процесів дифузії іонів металів у кристалах LiNbO3 та визначення оптимальних умов термохімічних обробок для застосування модифікованих матеріалів у пристроях функціональної електроніки. В дисертації розв’язано важливі наукові завдання, а саме: досліджено зміни структурних, оптичних, механічних та піроелектричних властивостей LiNbO3, спричинені високотемпературними відпалами кристалів у присутності іонів металів; використовуючи методи локального контролю та сканування змін фізичних властивостей зразків ніобату літію, підданих термохімічній обробці, визначено у різних кристалографічних напрямках просторові розподіли концентрацій домішкових іонів, впроваджених у кристали шляхом дифузії; досліджено вплив режимів термохімічних обробок кристалів LiNbO3 у присутності іонів металів на перебіг процесів дифузії; описано, на основі математичних моделей дифузії, процеси впровадження іонів металів у кристали LiNbO3, спричинені термохімічними обробками; виконано моделювання та створено діючий макет актюатора точного позиціювання на основі бідоменної пластини ніобату літію, створеної шляхом дифузії, експериментально досліджено залежності величини зміщення від прикладеної електричної напруги, визначено оптимальні кристалографічні орієнтації пластин, що утворюють біморфну структуру; запропоновано застосування методик цілеспрямованої термохімічної наноструктурної модифікації кристалів ніобату літію для ефективного використання у пристроях мікро- та наносистемної техніки, приміром, у актюаторах.