Васін А. В. Структурні та оптичні властивості плівок аморфного вуглецю

Дисертація присвячена дослідженню структурних та оптичних властивостей плівок гідрогенізованого та негідрогенізованого аморфного вуглецю. Встановлені кореляції розміру графітоподібних нанокристалітів, ширини забороненої зони, крутизни краю поглинання, концентрації парамагнитних центрів, морфології поверхні з одного боку та ступеню гідрогенізації і умов іонного бомбардування з іншого. Встановлено, що механічні напруження стиску в плівках гідрогенізованого аморфного вуглецю формуються під час трансформації щільної, метастабильної алмазоподібної фракції у більш стабільну графітоподібну структуру. Показано, що іонне бомбардування визначає характер розподілу орієнтацій графітоподібних нанокристалітів і сприяє згладжуванню поверхні плівок. Встановлена кореляція енергетичного положення особливостей лінії CKVV в Оже-електронних спектрах та значення оптичної ширини забороненої зони в плівках а-Si1-xCx в залежності від х.