Корбецький О. Р. Моделі, методи та програмні засоби для автоматизованого проектування газофазної операції "дифузія" в проточному реакторі

Об'єкт дослідження – газофазна операція "дифузія" в проточному реакторі. Мета – розробка моделей, методів і алгоритмів моделювання газофазних операцій виготовлення інтегральних схем (ІС), реалізація їх у вигляді програмно- методичного комплексу. Методи досліджень: апарат обчислювальної математики і математичної фiзики, прикладного і системного програмування. Теоретичний результат – комплексний підхід до моделювання газофазних операцій при виготовленні ІС. Практичний результат – підвищення точності моделювання протікання технологічних газофазних операцій. Економічний ефект – заощадження матеріальних та енергетичних ресурсів в процесі проектування і доробки технологічного процесу виготовлення ІС. Сфери використання – підприємства та наукові заклади, які займаються проектуванням та виробництвом ІС, вища освіта.