Лоп'янка М. А. Оптимізація технології і моделювання фізичних процесів у тонких плівках АIVВVI та структурах на їх основі.

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0400U002853

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.18 - Фізика і хімія поверхні

14-10-2000

Спеціалізована вчена рада

К 20.051.03

Анотація

Об'єкт дослідження:тонкі плівки сполук АIVВVI та тверді розчини на їх основі.Мета дослідження: оптимізація технології вирощування з парової фази тонких плівок АIVВVI та вивчення залежності їх властивостей від технологічни х факторів з допомогою методів математичного моделювання та планування експерименту. Методи дослідження: мікрорентгенівський спектральний аналіз, двокристальна спектрометрія і топографія, електронна Оже- спектроскопія, радіаційне опромінення альфа-частинками, ізотермічний та ізохронний відпал у вакуумі і на повітрі. Теоретичні і практичні результати і новизна:встановленні залежності електрофізичних параметрів тонких плівок халь когенідів свинцю і олова від технологічних факторів у вигляді поліномінальних рівнянь та гіперповерхонь відгуку. Ступінь впровадження: використовується в навчальному процесі Прикарпатського університету ім. В. Стефаника. Сфера впровадження:мікроелектроніка, підприємства які займаються виготовленням фотоелектричних пристроїв

Схожі дисертації