Політанський Р. Л. Структурні та оптичні властивості багатокомпонентних тонких плівок, модифікованих активними обробками

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0401U003154

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

26-10-2001

Спеціалізована вчена рада

Д 76.051.01

Анотація

Виявлено сильно розупорядкований шар на границі розділу "епітаксійна плівка-підкладинка" для плівок SiGe, виготовлених методом CVD. Відзначається, що лазерна обробка дає можливість реалізувати кероване (за рахунок зміни напрямку опромінення) покращення структурної досконалості плівок. СdHgSe. Ключові слова: епітаксійні Si-Ge плівки, тонкі плівки CdHgSe, йонна імплантація, лазерне розпилювання, високороздільна рентгенівська дифрактометрія.

Схожі дисертації