Соболь О. А. Особливості структури та напруженого стану іонно-плазмових конденсатів вольфраму і карбіду вольфраму

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0401U003163

Облікова картка дисертації

0401U003163.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

02-11-2001

Спеціалізована вчена рада

Д64.051.03

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню механізмів формування структури іонно-плазмових конденсатів вольфраму і його карбідів, а також її стабільності при відпалюванні в температурному інтервалі 300-1500 К. Плівки вольфраму і карбіду вольфраму були отримані іонно-плазмовим розпиленням відповідних мішеней з використанням магнетронної і триодної схем. Проаналізовано вплив основних параметрів осаждення з іонно-плазмових потоків на формування фазового складу, структури і напруженого стану конденсатів. Встановлено загальні для іонно-плазмових методів нанесення покриттів результати: розвиток у гратках кристалітів високих пружних деформацій, формування перважної орієнтації кристалітів, залежність елементного складу покриття і розміру кристалітів від густини потоку часток, що осаджуються, температури підкладки і величини потенціалу розпилення мішені.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів