Гончаров О. В. Система формування пучка ядерного мiкрозонда

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0401U003306

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.20 - Фізика пучків заряджених частинок

27-11-2001

Спеціалізована вчена рада

Д 64.845.01

Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України

Анотація

Дисертацiя присвячена дослiдженню системи формування пучка ядерного мiкрозонда на базi дублета магнiтних квадрупольних лiнз. Розроблений чисельний код дозволяї розраховувати траїкторiє iонiв у системi i визначити внески в розмiр пучка в площинi мiшенi для таких аберацiй, як хроматична, сферична, крайова i паразитнi аберацiє, пов'язанi з дефектами виготовлення i зборки лiнз i юстування системи лiнз. На базi проведених дослiджень був розроблений i виготовлений ядерний мiкрозонд, що дозволяї одержувати пучок протонiв на мiшенi розмiром 3i5 мкм, величиною струму 4 нА, при енергiє 2,4 МеВ. За допомогою мiкрозонда вимiрянi концентрацiйнi профiлi основних i домiшкових елементiв в тугоплавких покриттях: Сr, W-Ta, W-Ta-C, MoSi2(Cr).

Схожі дисертації