ТАЛАНІН В. І. Утворення, трансформація і властивості ростових мікродефектів у напівпровідниковому кремнію.

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0402U000557

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.10 - Фізика напівпровідників і діелектриків

07-02-2002

Спеціалізована вчена рада

К 17.051.04

Анотація

Об'єкт досліджень: механізм утворення, -трансформації мікродефектів, їх властивості у -напівпровідниковому Si. Мета: експериментальне. дослідження механізму утворення, росту і трансформації _ мікродефектів, їхнього впливу на характеристики монокристалів Si і приладових структур. Методи: селективне травлення, просвітлююча електронна мікроскопія, вимірювання електрофізичних параметрів монокристалів і електричних характеристик приладових -структур. Основні результати: виявлено співіснування. мікродефектів вакансійного і міжвузольного типів у Si незалежно від методу його вирощування. Встановлений гетерогенний механізм утворення і трансформації ростових мікродефектів. Досліджено зв'язок між утворенням мікрофедектів і наявністю фонових домішок.

Файли

image001.tif

image002.tif

image003.tif

image004.tif

image005.tif

image006.tif

image007.tif

image008.tif

image009.tif

image010.tif

image011.tif

image012.tif

image013.tif

image014.tif

image015.tif

image016.tif

image017.tif

image018.tif

image019.tif

image020.tif

image021.tif

image022.tif

image023.tif

image024.tif

image025.tif

image026.tif

image027.tif

image028.tif

image029.tif

image030.tif

image031.tif

image032.tif

image033.tif

image034.tif

image035.tif

image036.tif

image037.tif

image038.tif

image039.tif

image040.tif

image041.tif

image042.tif

image043.tif

image044.tif

image045.tif

image046.tif

image047.tif

image048.tif

image049.tif

image050.tif

image051.tif

image052.tif

image053.tif

image054.tif

image055.tif

image056.tif

image057.tif

image058.tif

image059.jpg

image060.jpg

image061.tif

image062.tif

image063.tif

image064.tif

image065.tif

image066.tif

image067.jpg

image068.jpg

image069.tif

image070.tif

image071.jpg

image072.jpg

image073.tif

image074.tif

image075.jpg

image076.tif

image077.jpg

image078.jpg

image079.jpg

image080.tif

image081.tif

image082.jpg

image083.jpg

image084.jpg

image085.tif

image086.tif

image087.jpg

image088.jpg

image089.jpg

image090.jpg

image091.jpg

image092.jpg

image093.jpg

image094.tif

image095.tif

image096.jpg

image097.tif

image098.tif

image099.tif

image100.tif

image101.tif

image102.tif

image103.tif

image104.tif

image105.tif

image106.jpg

image107.jpg

image108.tif

image109.tif

image110.tif

image111.tif

image112.tif

image113.tif

image114.tif

image115.jpg

image116.jpg

image117.jpg

image118.jpg

image119.jpg

image120.tif

image121.jpg

image122.jpg

image123.tif

image124.tif

image125.tif

image126.tif

image127.tif

image128.tif

image129.tif

image130.jpg

image131.jpg

image132.tif

image133.tif

image134.tif

image135.tif

image136.tif

image137.jpg

image138.jpg

image139.jpg

image140.jpg

image141.tif

image142.tif

image143.tif

image144.tif

image145.tif

image146.tif

image147.tif

image148.tif

image149.tif

image150.tif

image151.tif

image152.tif

image153.tif

image154.tif

image155.tif

image156.tif

image157.tif

image158.tif

image159.tif

image160.tif

image161.tif

image162.tif

image163.tif

image164.tif

image165.tif

image166.tif

image167.tif

image168.tif

image169.tif

image170.tif

image171.tif

image172.tif

image173.tif

image174.tif

image175.tif

image176.tif

image177.tif

image178.tif

image179.tif

image180.tif

image181.tif

image182.tif

image183.tif

image184.tif

image185.tif

image186.tif

image187.tif

image188.tif

image189.tif

image190.tif

image191.tif

image192.tif

image193.tif

image194.tif

image195.tif

image196.tif

image197.tif

image198.tif

image199.tif

image200.tif

image201.tif

image202.tif

Схожі дисертації

0523U100013

Луньов Сергій Валентинович

Вплив дефектної структури на електричні та тензоелектричні властивості монокристалів n-Ge та n-Si та плівкових наноструктур на їх основі

0522U100117

Птащенко Федір Олександрович

Вплив віддаленої взаємодії між домішковими атомами та поверхневими дефектами на процес формування, провідність та сенсорну чутливість до молекул NO2 і NH3 поруватого кремнію та інших кремнієвих структур.

0421U104048

Микитюк Тарас Іванович

Електричні, оптичні та фотоелектричні процеси в тонкоплівкових гетероструктурах CdS/CdMgTe

0521U102010

Борковська Людмила Володимирівна

Електронні та іонні процеси в світловипромінюючих напівпровідникових матеріалах на основі сполук А2В6 і А3В5

0521U101814

Коротєєв Вадим Вячеславович

Ефекти взаємодії терагерцового випромінювання з сильно нерівноважним електронним газом в об'ємних та низькорозмірних напівпровідникових структурах