Галуза О. А. Оптичні властивості структур прозора плівка - підкладка (Si, Al2O3, GGG, ситал) із поверхневим та перехідним шарами

Об'єкт - структури на основі сапфіру, GdGaG, ситалу, кремнію та його оксиду; мета - встановлення закономірностей утворення перехідних та поверхневих шарів; методи - еліпсометрія, електрона фотографія, інтерференція поляризованих променів; результати, новизна - 1) показано існування порушеного нанометрового шару на поверхні стандартних підкладок, показник заломлення якого близок до показника заломлення масиву, 2) відновлена реальна структура системи Si-SiO2 -Si, показано, що вона ускладнена перехідним і поверхневим шорсткуватим окисним шаром, а робочий шар Si виявляється пористим, 3) вперше виявлено ряд особливостей основного рівняння еліпсометрії, що суттєво ускладнюють розв'язання оберненої задачі еліпсометрії на ЕОМ, 4) розроблено оригінальний ефективний метод розв'язання оберненої задачі еліпсометрії; галузь - фізична оптика, фізика твердого тіла, фізика тонких плівок