Воронов Д. Л. Фазові перетворення в багатошарових плівкових системах Sc/Si і Sc/W/Si/W

Об'єкт - багатошарові періодичні покриття Sc/Si і Sc/W/Si/W; мета - встановлення суті і закономірностей фазових перетворень і кінетики процесів силіцидоутворення в багатошарових покриттях на основі скандію і кремнію; методи - рентгеноструктурний фазовий аналіз, рентгенівська малокутова дифракція, просвічувальна та растрова електронна мікроскопія і рентгенівський мікроаналіз; результати, новизна - Уперше описані процеси фазових перетворень у багатошарових покриттях Sc/Si і Sc/W/Si/W при нагріванні. Виявлено, що формуванню рівноважних кристалічних силіцидів передує утворення метастабільних фаз: аморфного силіциду ScSi і метастабільного кристалічного силіциду Sc3Si5. Встановлено, що реакція твердофазної аморфізації підлягає дифузійній кінетиці. Переважним дифузантом у системі Sc/Si є кремній. Виявлено, що дифузійні бар'єри на основі вольфраму не змінюють послідовність утворення фаз у покритті Sc/W/Si/W, але помітно знижують швидкість і істотно впливають на кінетику аморфізації, змінюючи параболічний законросту аморфного силіциду ScSi на лінійний; галузь - фізика тонких плівок, рентгенівська оптика, діагностика плазми, астрофізика