Красовський І. В. Шари складних сполук на поверхні Cu, GaAs та ZnSe, утворення яких індуковано жорстким ультрафіолетовим випромінюванням (100-300 нм) у атмосфері хлору

Об'єкт дослідження - шари складних сполук, які утворюються на поверхні GaAs, ZnSe і Cu в атмосфері хлору під дією жорсткого УФ випромінювання. Мета дослідження - вивчення процесів фазоутворення на поверхні Cu, GaAs, ZnSe в атмосфері хлору, стимульованих впливом УФ випромінювання з довжиною хвилі від 300 нм до 100 нм. Методи дослідження: Оже електронна спектроскопія, рентгенівська фотоелектронна спектроскопія, електронно-зондовий мікроаналіз, оптична мікроскопія, скануюча електронна мікроскопія, мікроскопія атомних сил, профілометрія. Теоретичні і практичні результати, новизна: Виявлено домінуючі механізми процесів у дифузійній зоні, що утворюється при фотостимульованій взаємодії GaAs, ZnSe і Cu з хлором. Встановлено кінетику росту шарів продуктів реакції. Показано, що переважним дифузантом у шарі продуктів реакції є метал. Встановлено наявність областей прискореної дифузії в місцях виходу границь зерен на поверхню, та пояснено механізм їх утворення. Встановлено та пояснено надвисокий (більший за одиницю) квантовий вихід досліджуваних фотостимульованих процесів. Сфера використання: фізика фотостимульованих гетерогенних процесів у дифузійній зоні, фотолітографія, мікро та наноелектроніка.