Решетняк О. М. Напружений стан та структура іонно-плазмових конденсатів з гексагональною та кубічною решіткою.

Об'єкт досліджень - тонкі плівки Ti, W, Ti-N. Cr-N, Ti-Cr-N товщиною 1?104 нм, осаджені магнетронним і вакуумно-дуговим способом; мета - встановлення особливостей структури і напруженого стану іонно-плазмових плівок, аналіз впливу енергії частинок, що формують конденсат, на структуру і механізм формування залишкових напружень; методи - рентгеноструктурний аналіз, рентгено-флуоресцентний аналіз, електронна мікроскопія; результати, новизна - виявлені високі стискаючі напруження (0,5?5 ГПа), які неоднорідно розподілені по товщині іонно-плазмових плівок, і збільшені, у порівнянні з табличними, параметри решітки. Встановлено зв'язок між напруженим станом, процесом релаксації пружних спотворень решітки і формуванням текстури. Проаналізовано вплив середньої енергії частинок, що осаджуються, на рівень залишкових напружень в плівках. Запропонована якісна модель формування залишкових напружень в іонно-плазмових конденсатах. Розроблена методика вивчення напруженого стану монокристалічних і текстурованих матеріалів з гексагональною решіткою, яка дозволяє одночасно визначити значення макронапружень ((1,(2) і параметри кристалічної решітки, що відповідають ненапруженому стану (aо,cо); галузь використання - фізика тонких плівок.