Литвинчук І. В. Структурні зміни в пористому кремнії після іонної імплантації фосфором

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0404U004528

Облікова картка дисертації

0404U004528.pdf

Здобувач

Литвинчук Іван Васильович

Спеціальність

01.04.07 - Фізика твердого тіла

Дата захисту

29-10-2004

Спеціалізована вчена рада

Д 76.051.01

Анотація

Проведені комплексні Х-променеві дослідження, відтворено товщинні розподіли деформацій і порушень в приповерхневих шарах пористого кремнію після імплантації іонів фосфору. Розглянуто вплив комбінованої дії іонної імплантації фосфором та хімічного травлення на структурні властивості та фотолюмінесцентні характеристики кремнію в процесі природного старіння. Досліджено механізми та закономірності формування товщинних осциляцій інтенсивності.

Читати повністю

Керівник роботи

Раранський Микола Дмитрович

Офіційні опоненти

Прокопенко Ігор Васильович
Ковалюк Захар Дмитрович

Файли

aref.doc

disert_doc.doc

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів