Вербицька Т. І. Закономірності фазоутворення та термічна стабільність силіциду нікелю NiSi в тонкоплівкових системах Co-Ni, Ni-Ti, Ni-Si на монокристалах кремнію

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0405U000448

Облікова картка дисертації

0405U000448.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 05.16.01 - Металознавство та термічна обробка металів

31-01-2005

Спеціалізована вчена рада

К 26.002.12

Анотація

Дисертація присвячена визначенню закономірностей формування фазового складу і структури внаслідок термічно-активованих твердотільних реакцій та інтервалів термічної стійкості силіциду нікелю NiSi у тонкоплівкових системах Co, Ni, Co-Ni, Ni-Tі та у багатошарових плівкових нанорозмірних системах Ni/Si/Ni/Si…, Co/Si/Co/Si…, Ni/Tі/Ni/Ti… на монокристалах кремнію. Ключові слова: багатошарові плівки, аморфний стан, фаза, відпал, силіцид, підкладка, структура.

Читати повністю

Файли

Aref.doc

dis1.doc

dis2.doc

dis3.doc

dis4.doc

dis5.doc

dis7.doc

Схожі дисертації

0423U100090

Кімстач Тетяна Володимирівна

Дослідження та розробка олов’яно-алюмінієвої бронзи з підвищеними ливарними, триботехнічними та корозійними властивостями

0521U101678

Борисенко Андрій Юрійович

Розвиток теорії структурної спадковості у вуглецевій сталі для енергоефективного виробництва прокату з безперервнолитих заготовок

0421U102206

Конорев Сергій Ігорович

Структурно-фазові перетворення на межах розділу в нанорозмірних функціональних композиціях "графен-метал" та "метал-кремній"

0521U101024

Лоскутова Тетяна Володимирівна

Формування багатокомпонентних покриттів за участю Ti, Cr, Al з бар’єрними шарами на сталях, титанових та твердих сплавах

0421U100775

Штофель Ольга Олександрівна

Вдосконалення методу фрактального аналізу для оцінки взаємозв'язку структури і властивостей конструкційних сталей