Терпій Д. М. Структура та фізичні властивості боридних плівок, отриманих ВЧ - магнетронним розпиленням

В дисертації викладено теоретичні та експериментальні дослідження впливу змін характеристик атомарних, іонно-плазмових потоків та умов конденсації на фазовий склад, структурну довершеність та властивості плівок, одержаних шляхом іонно-плазмового розпилення мішеней ZrB2 та VB2 за допомогою ВЧ МРС. Показано, що за умов осадження плівок високотемпературних сполук, головним чинником, що впливає на склад та структуру плівок є умови переносу розпилених атомів мішені до поверхні конденсації. У зв'язку з цим, запропоновано механізм, що дозволяє провести моделювання впливу умов транспортування речовини крізь розрядний проміжок на зміни характеристик потоків атомів, що конденсуються на підкладці. Показано також, що за допомогою такого моделювання та розрахунків пересичень (за запропонованою у роботі схемою) можливо здійснити підбір параметрів розпилення та осадження, які найбільш сприятимуть осадженню плівок з бажаними властивостями. В результаті виділено три основних режими роботи систем іонно-плазмового розпилення. Експериментально та теоретично досліджено вплив швидкості розпилення мішені на процеси формування плівок. Наводяться практичні рекомендації щодо одержання епітаксійних та наноструктурних плівок досліджуваних сполук.