Каркульовська М. С. Розробка методу обробки інтерферограм Фабрі-Перо для визначення параметів плоскопаралельних плівкових структур

Предмет. Теоретичне і комп'ютерне моделювання амплітудно-фазових властивостей спектрів інтерференції Фабрі-Перо. Мета. Аналіз спектроскопії амплітуди і фази світла, відбитого та пропущеного одношаровою плоскопаралельною плівковою структурою. Методи. Математичний аналіз і комп'ютерне моделювання в MathCAD просторово одновимірної моделі оптичної неоднорідності плоских електромагнітних хвиль. Результати. Вперше обґрунтовані фізичні умови, за яких фаза відбитої та пропущеної хвиль одношаровою плоскопаралельною плівкою визначається через значення енергетичних коефіцієнтів відбивання та пропускання. Вперше запропоновано і обґрунтовано новий фізичний підхід до визначення апаратних характеристик інтерферограм Фабрі-Перо. Вперше обґрунтований метод оцінки оптичних параметрів плівкових структур шляхом визначення площі, що обмежена контуром смуги інтерференції. Застосування. Отримані результати можуть бути використані для неруйнівного методу контролю параметрів промислових покриттів в процесі їх нанесення.