Ковтун Н. А. Структура, оптичні і електричні властивості легованих плівок оксиду цинку, виготовлених методами магнетронного розпилення.

Об’єкт – фізичні механізми впливу фізико-технологічних умов магнетронного розпилення на оптичні та електричні характеристики легованих плівок оксиду цинку; мета - розробка фізичних основ оптимізації фізико-технологічних умов різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих шарів оксиду цинку з високими коефіцієнтами якості; методи - рентгендифрактометричного аналізу фазового складу і таких параметрів кристалічної структури, як розмір області когерентного розсіяння, рівня мікродеформації і ступеню розсіювання текстури; оптичної спектроскопії для визначення середнього коефіцієнту пропускання шарів у діапазоні довжин хвиль (400-800) нм; чотирьохзондового методу для ідентифікації поверхневого електроопору шарів, методу е.р.с. Холу для визначення концентрації і рухливості основних носіїв заряду; результати, новизна - встановлені фізичні механізми впливу технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення на коефіцієнт якості легованих плівок оксиду цинку. Показано, що досягнення оптимальних оптоелектричних властивостей для плівок ZnO:In та ZnО:Al, отриманих реактивним магнетронним розпиленням на постійному струмі, відбувається завдяки різним фізичним механізмам, що пов’язано з різними атомарними радіусами алюмінію та індію. Уточнені та обґрунтовані фізичні механізми впливу на оптоелектричні властивості плівок ZnО:Al концентрації легуючої фази у складі мішені при нереактивному магнетронному розпиленні і потужності магнетрона при високочастотному розпиленні. Встановлено, що при високочастотному нереактивному магнетронному розпиленні при збільшенні робочого тиску спостерігається нетрадиційна зміна фізичних закономірностей впливу товщини плівок ZnО:Al на значення концентрації основних носіїв заряду; галузь використання - фізика твердого тіла.