Замулко С. О. ФОРМУВАННЯ СИЛІЦИДНИХ ФАЗ ПРИ РЕАКЦІЙНІЙ ДИФУЗІЇ В СИСТЕМАХ "ПЛІВКОВІ ШАРИ (5 - 30 нм) Ti, Ni - МОНОКРИСТАЛІЧНИЙ КРЕМНІЙ"

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0406U001434

Здобувач

Спеціальність

  • 05.16.01 - Металознавство та термічна обробка металів

20-03-2003

Спеціалізована вчена рада

K26.002.12

Анотація

Дисертація присвячена експериментальному дослідженню та теоретичному моделюванню процесів термостимульованої реакційної дифузії в системах "плівкові шари Ni (Ti, Ni-Ti) нанометрових товщин (5 - 30 нм) - монокристал Si(001)"

Файли

Схожі дисертації