Пеньков О. В. Міжшарова взаємодія у багатошарових нанорозмірніх покриттях на основі молібдену та кремнію при опроміненні іонами гелію та нагріві

Об'єкт: багатошарові періодичні покриття Mo/Si, Mo/C/Si/C, MoSi2/Si і Mo/MoSi2/Si/MoSi2 з періодом 4-12нм, нанесені на підкладки з полірованого кремнію методом магнетроного розпилення. Мета: розв'язання задачі щодо встановлення механізмів і закономірностей іонно-променевого перемішування і дифузійної взаємодії в багатошарових періодичних композиціях (БПК) на основі нанорозмірних шарів молібдену і кремнію при опроміненні іонами гелію, нагріві і сумісній дії цих факторів та розробка способів підвищення радіаційної стійкості багатошарових композицій для створення високоефективних багатошарових рентгенівських дзеркал. Методи: рентгенівська дифрактометрія, рентгенівська малокутова дифрактометрія, комп'ютерне моделювання малокутової рентгенівської дифракції, високороздільна просвічувальна електронна мікроскопія, рентгенівська фотоелектронна спектроскопія. Результати: Досліджено процеси іонно-променевого перемішування в БПК Mo/Si при опроміненні іонами He+ з енергією 40 кеВ і дозами до 4·1016 см-2. Вивченовплив температури на іонно-променеве перемішування в БПК. Встановлені інтервали слабкої і сильної залежності перемішування від температури. Визначено енергію активації процесів перемішування для цих інтервалів. Вивчена роль вуглецевих бар'єрів в ослабленні перемішування як при термічній, так і при іонно-променевій дії. Досліджена дифузійна взаємодія в БПК Mo/Si в інтервалі температур 275 - 450 °С. Галузь використання: фізика твердого тіла, радіаційна фізика.