Кісельов Є. М. Інтегровані датчики потужності випромінювань на основі комбінованих твердотільних структур

Дисертація присвячена розробці та дослідженню датчиків потужності випромінювань для безконтактного контролю параметрів теплових процесів. Запропоновано нову методику розробки та дослідження інтегрованих адаптивних датчиків на основі комбінованих тведотільних структур, до яких відноситься біполярний транзистор з польовим керуванням (БТПК). Розроблено нові схемні моделі БТПК. Дослідження характеристик БТПК виявили їх здібність до адаптивної зміни електричних параметрів. Запропоновано загальну методику побудування датчиків потужності випромінювань, та на основі цієї методики розроблено і досліджено конструкції датчиків. Розроблено технологічну схему виготовлення пропонованих датчиків, особливістю якої є використання модифікації золь - гель методу отримання плівок піроелектриків. Проаналізовані шляхи застосування датчиків у обладнані виробництва електронної техніки та в інших технічних вимірювальних засобах. Викладені в дисертації конструктивні та схемні рішення, а також методика розрахунку, ви-користані при розробці САК печами ІЧ - сушки, з метою оптимізації технологічного процесу збірки виробів електронної техніки.