Корчовий А. А. Розсіяння Х-променів шаруватими періодичними структурами та діагностика їх параметрів

Дисертація присвячена розробці експериментальних методів дослідження параме-трів багатошарових планарних структур, розрахунку основних структурних властивос-тей плівок із спектрів відбиття Х-променів з використанням квазізаборонених рефлек-сів (КЗР) в бреггівській геометрії дифракції. Застосовуючи напівкінематичне наближення теорії розсіювання Х-променів при розрахунках кривих дифракційного відбиття (КДВ) показано, що в короткоперіодних надгратках (НГ) зміна співвідношення інтенсивностей сателітів, розташованих з боку менших і більших кутів від нульового сателіта, залежать як від ступеня структурної до-сконалості (фактора Дебая-Валлера, параметра ближнього порядку), так і від рівня пружної деформації окремих шарів. Зазначений факт викликаний нерівноцінними фа-зовими змінами в структурному множнику кожного з реальних шарів. Встановлено, що для адекватного опису КДВ від багатошарових структур необ-хідне врахуванням якомога більшого числа дифракційних параметрів, особливо в коро-ткоперіодних надгратках далеко від кута точного бреггівського положення. Обґрунтовано та апробовано нові експериментальні методи з використанням КЗР для отримання параметрів структур і композиційного розподілу в шарах НГ. При цьому вперше, встановлена можливість розділення внесків у відбивну здатність кожного з шарів структури окремо, висока чутливість КЗР до складу твердих розчинів субшарів, а також чутливість сателітів НГ до дефектної структури того або іншого шару.