Бізюков І. О. Розпилення та модифікація поверхні плівок вольфраму при опроміненні пучками іонів дейтерію та вуглецю

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0407U001920

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.20 - Фізика пучків заряджених частинок

24-04-2007

Спеціалізована вчена рада

Д 64.845.01

Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України

Анотація

У дисертаційній роботі досліджені процеси розпилення й елементної модифікації поверхні в результаті бомбардування вольфраму пучками іонів вуглецю, вуглецю й гелію, вуглецю й дейтерію. Досліджено вплив мікронерівностей на динаміку розпилення поверхні й імплантації вуглецю іонними пучками. Теоретично й експериментально досліджений перехід від розпилення поверхні до зростання захисної вуглецевої плівки в міру того, як відбувається збільшення концентрації іонів вуглецю в потоці, що налітає. Показано, що процеси взаємодії пучків іонів з поверхнею визначаються в основному кінетичними процесами. Впливом хімічних процесів на процеси розпилення й імплантації у такій системі можна знехтувати.  

Файли

Схожі дисертації