Таращанський М. Т. Підвищення точності різання напівпровідникових монокристалів за рахунок зменшення нерівномірності натягу корпуса відрізного круга.

Об'єкт дослідження - точність різання монокристалів алмазним відрізним кругом із внутрішньою ріжучою крайкою, який закріплено і розтягнуто у пристрою натягу. Мета дослідження - підвищення точності різання злитків напівпровідникових монокристалів алмазними відрізними кругами із внутрішньою ріжучою крайкою за рахунок зменшення нерівномірності натягу інструмента. Методи досліджень: теоретичні на базі положень теорії пружності, теорії коливань і міцності елементів і вузлів конструкцій, експериментальні з використанням методів математичної статистики. Запропоновано аналітичну залежність для визначення величини прогину відрізаної пластини. Розроблено методи визначення нерівномірності натягу відрізного круга, а також методику вибору гранично допустимої величини натягу відрізного круга з урахуванням впливу сил різання. Впроваджена у виробництво методика зменшення величини нерівномірності натягу відрізного круга. Результати досліджень можуть бути використані в умовах ділянок різання злитків напівпровідниковихматеріалів при виготовленні підкладок.