Лукіянчук Е. М. Взаємодія CdTe, CdxHg1-xTe, GaAs та InAs з водними розчинами H2O2-мінеральна кислота-розчинник.

В роботі досліджено розчинення CdTe, Сd0,22Hg0,78Te, GaAs та InAs в водних розчинах H2O2-HNO3, H2O2-H3PO4, H2O2-H2SO4, H2O2-HCl та H2O2-HNO3(HCl)-органічний розчинник (розчинником були етиленгліколь, лактатна, тартратна і цитратна кислоти). У відтворюваних гідродинамічних умовах з використанням диску, що обертається, вивчені кінетика і механізм процесів їх хімічного розчинення. Побудовано поверхні однакових швидкостей травлення (28 діаграм Гіббса), встановлено межі існування поліруючих, неполіруючих та селективних розчинів. Виявлено вплив природи мінеральної кислоти та природи розчинника (наявності певної кількості карбоксильних груп в органічній кислоті) на швидкість розчинення монокристалів CdTe, Сd0,22Hg0,78Te, GaAs та InAs, полірувальні властивості розчинів та якість обробленої поверхні. Досліджено стан (мікроструктуру і шорсткість) отриманої після травлення поверхні. Розроблено і оптимізовано склади травильних композицій, режими та способи модифікації і підготовки полірованих поверхонь монокристалів методом хімиіко-динамічного полірування, методику спільного травлення плівок CdTe і Сd0,22Hg0,78Te.