Гнатів І. І. Взаємодія монокристалів твердих розчинів ZnxCd1-xTe і CdxHg1-xTe з травильними композиціями H2O2-HBr-розчинник.

Дисертація присвячена дослідженню фізико-хімічної взаємодії монокристалів CdTe і твердих розчинів Zn0,04Cd0,96Te, Zn0,2Cd0,8Te, Cd0,21Hg0,79Te з бромвиділяючими сумішами H2O2-HBr-розчинник (вода, етиленгліколь, тартратна, цитратна, лактатна кислоти) і розробці на основі отриманих експериментальних результатів травильних композицій та режимів обробки поверхні монокристалів вказаних напівпровідників. Виявлено вплив природи окисника і розчинника на швидкість хімічного розчинення, поліруючі властивості розчинів та якість полірованої поверхні CdTe і твердих розчинів Zn0,04Cd0,96Te, Zn0,2Cd0,8Te та Cd0,21Hg0,79Te. Показано, що травлення поверхні твердих розчинів ZnxCd1-xTe і CdxHg1-xTe відбувається дещо швидше, ніж номінально нелегованого CdTe (110). У досліджених системах оптимізовано склади поліруючих травильних композицій і розроблено режими хіміко-механічного і хіміко-динамічного полірування та методи підготовки полірованих поверхонь монокристалів CdTe і твердих розчинів Zn0,04Cd0,96Te, Zn0,2Cd0,8Te, Cd0,21Hg0,79Te. Показано, що застосування оптимізованих травильних композицій на базі H2O2-HBr-ЕГ для виготовлення діоду на основі структури Au - p-CdTe призводить до формування омічних контактів.