Шалаєв Р. В. Фотостимульована модифікація і оптичні властивості плівок алмазоподібного вуглецю.

Дисертація присвячена питанням виявлення механізмів впливу електромагнітного випромінювання на ріст і властивості алмазоподібних плівок. В роботі використовувалися газофазні методи отримання плівок при низьких тисках, та опромінення випромінюванням УФ- і видимого діапазонів спектра. Встановлено, що опромінювання поверхні зразка, який зростає, лазерним випромінюванням видимого діапазону спектра збільшує концентрацію атомарного водню в приповерхневому газофазному шарі більш ніж в 2,5 рази внаслідок фотосенсибілізованих процесів передачі енергії та дисоціації на збудженій ростовій поверхні. Показано, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок нітриду вуглецю значною мірою знижує енергетичний бар'єр, збільшує ефективність вбудовування атомів азоту в структуру плівок і призводить до підвищення концентрації хімічно зв'язаного азоту в плівках. Отримано дані, що свідчать про інтенсифікацію процесів травлення і перебудови ростової поверхні алмазоподібних плівок в умовах її опромінювання.