Петухов В. В. Структура, кінетика зростання та властивості плівок боридів та боронiтридів ванадію та танталу

Об'єкт: плівки, одержані за допомогою метода ВЧ-магнетронного розпилення мішеней VB2 і ТаВ2 нереактивним та реактивним методами. Мета: вирішення задачі по встановленню фізичних процесів щодо формування структури, складу і фізико-механічних властивостей плівкових покриттів, що утворюються в системах V-B-N і Та-В-N. Методи: комп'ютерне моделювання за методом Монте-Карло, просвічувальна електронна мікроскопія, рентгенівська дифрактометрія, вторинна іонна мас-спектрометрія, ІЧ-спектрометрія, вимірювання мікротвердості, наноіндентування. Результати: визначено оптимальний інтервал осадження плівок VB2 і ТаВ2, що забезпечує одержання максимальних за товщиною плівок зі складом, близьким до стехіометричного. Визначено вплив режимів розпилення на зміни характеристик потоку часток, що конденсуються. Визначено характер впливу зміни співвідношення реактивного (азот) і робочого (аргон) газів на процеси фазоутворення і зростання досліджених плівок. Досліджено і пояснено механізм нітридизації мішені VB2 в середовищі "аргон + азот", що приводить до відсутності боридних фаз в одержаних плівках. Запропоновано спосіб одержання багатошарових боридних і нітридних структур перехідних металів із заданими фізико-механічними властивостями, в одному технологічному циклі, використовуючи одну мішень. Галузь застосування: фізика твердого тіла, мікроелектроніка, машинобудування