Іваніцька В. Г. Взаємодія поверхні CdTe різної кристалографічної орієнтації з розчинами на основі І2 та Н2О2-НІ

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0408U001801

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.18 - Фізика і хімія поверхні

28-03-2008

Спеціалізована вчена рада

K 20.051.03

Анотація

На основі експериментальних досліджень процесів хімічної взаємодії поверхні монокристалів CdTe різних кристалографічних напрямків з іодвмісними (І2-СН3ОН, І2-ДМФА), та іодвиділяючими розчинами (H2O2-HІ-розчинник) розроблено склади травильних композицій та методики обробки поверхні CdTe. З використанням математичного планування експерименту побудовано поверхні однакових швидкостей травлення вказаних напівпровідників в досліджуваних системах розчинів. Органічним компонентом травильних композицій використано: метанол, етиленгліколь, цитратну, лактатну, тартратну кислоти, а також суміші етиленгліколю та цитратної кислоти. Встановлено вплив органічного розчинника на процес хімічного травлення і поліруючі властивості травників, до складу яких вони входять. Досліджено кінетичні обмеження процесу розчинення, визначено межі існування областей поліруючих, неполіруючих та селективних розчинів у кожній з досліджуваних систем.

Файли

Схожі дисертації