Шинкаренко В. В. Структурна релаксація нанорозмірних плівок Та2О5, вирощених на підкладках p-Si, стимульована мікрохвильовою обробкою

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0409U000578

Облікова картка дисертації

0409U000578.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

23-01-2009

Спеціалізована вчена рада

Д 26.199.01

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню атермічного впливу мікрохвильового опромінення на МДН структури з Та2О5 плівками. Розглянуто вплив НВЧ обробки в залежності від технологічних аспектів створення структур. В роботі розвивається перспективний напрямок фізики твердого тіла, пов'язаний як з направленим технологічним відпалом МДН структур, так і зі збільшенням їх стійкості до НВЧ опромінення. Вперше було виявлено немонотонні зміни електрофізичних та структурних параметрів МДН структур з плівками Та2О5 під впливом мікрохвильового опромінення частотою 2,45 ГГц та визначено оптимальний діапазон часу експозиції. Показано, що дані зміни впливають перш за все на межу розділу діелектрик-напівпровідник. Перевірено та підтверджено припущення про те, що зменшення внутрішніх механічних напруг в цій області приводить до підвищення стійкості МДН структур. Для зменшення внутрішніх механічних напруг було використано легування плівки Та2О5 титаном.

Читати повністю

Файли

Dysertazija--1_гл_(12-32).doc

Dysertazija--2_гл (33-49).doc

Dysertazija--2_гл (33-49).doc

Dysertazija--3 глава(50-95).doc

Dysertazija--3 глава(50-95).doc

Dysertazija--4_гл (96-110).doc

Dysertazija--Висновки (111-112).doc

Dysertazija--Додаток (113-119).doc

Dysertazija--Лiтература (120-130).doc

Dysertazija--Титул (1-11).doc

Автореферат.doc

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів