Філімонов С. О. Вдосконалення п'єзокерамічних сканерів для зондових наномікроскопів

Об'єкт дослідження - процеси сканування зондових наномікроскопів. Предмет дослідження - п'єзокерамічні сканери для зондових наномікроскопів. Мета роботи - розробка методів і засобів вдосконалення п'єзокерамічних сканерів зондових наномікроскопів та на цій основі створення сканерів з кращими характеристиками. Розроблений метод покращення позиціонування п'єзокерамічних сканерів за рахунок зменшення зв'язку між актуаторами. Зменшення взаємного зв'язку між актуаторами сканера досягнуто завдяки розділенню актуаторів один від одного, а також за рахунок застосування плоских пружних пластин, що мають різну жорсткість по координатах X і Y. В дисертаційній роботі побудовані і досліджені математичні і комп'ютерні моделі трубчатого п'єзокерамічного сканеру, п'єзокерамічного сканеру на основі планарних біморфних п'єзоелементів, та п'єзокерамічного сканеру на основі біморфного планарного камертону. Побудовані також комп'ютерні моделі для візуалізації переміщень розроблених п'єзокерамічних сканерів.