Жавжаров Є. Л. Модифікація структури та електрофізичних параметрів тонких металевих плівок і гетероструктур на їх основі під дією атомарного водню

У дисертаційній роботі проведені комплексні експериментальні дослідження електрофізичних властивостей тонких металевих плівок Ni, Cu, Ag (10-200 нм) і структур на їх основі, які дали можливість встановити і доповнити відомі закономірності дії атомарного Гідрогену (Н) на структуру і електропровідність тонких металевих плівок. Весь комплекс процесів що протікають під впливом Н в тонких металевих плівках розділено на механізми, що оказують домінуючий вплив на електропровідність тонких плівок на одному з трьох етапів взаємодії. Виявлена і пояснена наявністю конкуруючих процесів нелінійна залежність опору тонких плівок від часу їх обробки Н. Встановлена залежність процесів ініційованих дією атомарного Гідрогену від умов взаємодії: властивостей вихідної плівки, матеріалу плівки, концентрації атомарного Гідрогену, часу обробки, тиску в камері. Вперше показана можливість керованої зміни електропровідності, тензометричного коефіцієнту, адгезії плівок. Виявлено, що дія Н на кремнієві підкладки приводить до зміни потенціалу поверхні, і залежить від стану поверхні кремнію: товщина оксиду і кристалографічної орієнтації.