Лук'янов А. М. Властивості модифікованих вуглецевих плівок та фоточутливих структур з просвітлюючими та захисними шарами

Визначено механізми впливу потужності ВЧ розряду та кількості азоту в складі робочої суміші на властивості АПВ плівок. Запропоновано умови оптимального просвітлення сонячних елементів АПВ плівками. Проведено дослідження просвітлюючих властивостей АПВ плівок, нанесених на Cd1-хZnхTe (x~0,04), встановлено і пояснено утворення проміжних шарів під час осадження АПВ плівки. Оптичні параметри таких покриттів не змінюються після термоциклювання і ультразвукової обробки. Досліджено вплив УФ та g-опромінення на властивості АПВ плівок. Запропоновано механізм, відповідно до якого УФ кванти розривають зв'язки з воднем і зменшують їх кількість, активують кисень повітря, який дифундує в плівку, збільшують кількість атомів sp3C та зв'язків CO, CN, і, як наслідок, збільшують оптичну ширину забороненої зони. Під дією g-опромінення відбувається sp2 гібридизація атомів C, вивільнюється і дифундує в підкладку водень, утворюються зв'язки з азотом. Збільшення кількості азоту в плівках сприяє більшій стійкості до впливу g-опромінення. Досліджено вплив g-опромінення на кремнієві СЕ з і без АПВ покриття. Показано, що під дією g-опромінення відбувається зменшення Iкз, Uхх та к.к.д., що обумовлено утворенням рекомбінаційно-активних центрів та зменшенням довжини дифузії неосновних носіїв заряду, проте, деградація СЕ з АПВ плівкою менша порівняно з непросвітленими СЕ завдяки пасивації обірваних зв'язків вивільненим з АПВ плівки воднем.