Коновалов В. А. Структура, склад, особливості росту та властивості плівок диборидів танталу і гафнію

Об'єкт: покриття боридів тугоплавких перехідних металів, одержані за допомогою метода іонно-плазмового розпилення. Мета: встановлення впливу процесів масопереносу, фізичних умов конденсації та консолідації речовини на поверхні осадження, які мають місце при іонно-плазмовому розпиленні мішені, на склад, структуру, морфологію та фізико-механічні властивості покриттів. Методи: нереактивне високочастотне магнетронне розпилення, рентгенівська дифрактометрія, растрова та просвічувальна електронна мікроскопія, вторинна іонна мас-спектрометрія, рентгенівський мікроаналіз, наноіндентування, зондові методи. Результати: проведене комплексне систематичне вивчення складу, структури і фізико-механічних властивостей наноструктурних покриттів дибориду танталу і дибориду гафнію. Встановлено вплив термічного нагрівання підкладки і низькоенергетичного іонного й електронного бомбардування поверхні осадження на процеси конденсації покриттів, запропоновано пояснення фізичної природи зазначеного впливу. Визначена залежність фізико-механічних характеристик нанокристалічних покриттів від їх структурного стану, складу і розміру зерна та наведено її фізичне пояснення. Галузь застосування: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок, радіаційна фізика