Стєрвоєдов А. М. Формування нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N іонно-променевими методами

Об'єкт: плівки Ti-O-N та Cr-O-N нанорозмірної товщини різної стехіометрії, одержані методами іонно-променевого розпилення та іонно-стимульованого осадження. Мета: встановлення закономірностей синтезу плівок Ti-O-N та Cr-O-N нанорозмірної товщини за допомогою методів іонно-променевого розпилення та іонно-стимульованого осадження у контрольованому вакуумному середовищі для оптимізації процесів одержання нанорозмірних функціональних плівок та наногетероструктур з наперед заданими властивостями. Методи: рентгенівська фотоелектронна спектроскопія, тунельна та атомно-силова мікроскопія, метод масс-спектрометрії вторинних іонів, метод математичного моделювання пробігу іонів у твердому тілі - пакет програм SRIM, оригінальні методи вимірювання параметрів пучків іонів і атомно-молекулярних потоків у вакуумному середовищі. Результати: Запропонована технологія синтезу плівок Ti-O-N нанорозмірної товщини осадженням в контрольованому вакуумному середовищі титану, який розпилюється пучком іонів Ar+ з енергією = 5 кеВ та низькою щільністю іонного струму на мішені (10 - 15 мкА/см2). Показано вплив вакуумних умов під час синтезу плівок на елементний склад та хімічний стан сформованих структур. Вперше експериментально встановлені залежності хімічного стану нанорозмірних структур Ті-N-O/Si від температури підкладки під час формування методом іонно-променевого розпилення та температурного відпалу. Визначено вплив температури росту плівок TiNxOy на формування міжатомних зв'язків азоту і титана. Галузь використання: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок, нанофізика