Девізенко О. Ю. Ріст, структурно-фазові перетворення та рентгенооптичні властивості багатошарових нанорозмірних плівкових композицій Cо/C

Об'єкт: багатошарове періодичне покриття Co/C з товщинами шарів від 0.8 нм до 7 нм, яке методом магнетронного розпилення нанесено на плоскі поліровані кремнієві підкладки й скляні підкладки, а також увігнуті й опуклі сферичні кварцові підкладки. Мета: встановлення особливостей формування, структурних і фазових перетворень та рентгенооптичних властивостей багатошарових нанорозмірних періодичних композицій Со/С, а також дослідження можливості створення на їх основі ефективної зображувальної системи для спектрального діапазону "вуглецеве вікно" (4.4 - 5.0 нм). Методи: рентгенівська дифрактометрія, рентгенівська малокутова дифрактометрія, комп'ютерне моделювання кривих малокутової рентгенівської дифракції, високороздільна просвічувальна електронна мікроскопія, атомно-силова мікроскопія, рентгенооптичні методи із застосуванням синхротронного випромінювання. Результати: Показано, що при формуванні в багатошарових періодичних покриттях Со/С відбувається міжшарова взаємодія й уперше виділені три стадії взаємодії. Установлено температурні інтервали структурно-фазових перетворень у покриттях при відпалах з температурою від 250 С до 600 С. Досліджено рентгенооптичні характеристики композицій. На основі покриттів створено об'єктив Шварцшильда з рекордним очікуваним коефіцієнтом пропускання для випромінювання з довжиною хвилі 4,4 - 5 нм. Галузь використання: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок, нанофізика