Яремій С. І. Кристалічна структура приповерхневих шарів монокристалів Gd3Ga5O12, імплантованих іонами Не+

В роботі проаналізовано закономірності перебудови кристалічної структури іонно-імплантованих приповерхневих шарів монокристалів гадоліній-галієвих гранатів (ГГГ) у залежності від величини дози імплантації іонами Не+; проведено ідентифікацію основних типів ростових і радіаційних дефектів та визначені їх кількісні характеристики. Показано, що основними типами складних радіаційних дефектів є дислокаційні петлі. Проаналізовано процеси, які відбуваються в приповерхневих імплантованих іонами Не+ шарах монокристалів ГГГ при їх природному старінні. Виявлено, що процес природного старіння приповерхневих шарів ГГГ характеризується двома етапами. Встановлено, що стан приповерхневих порушених шарів у площині пластин імплантованих іонами Не+ монокристалів ГГГ є повністю напруженим. Досліджено вплив іонного опромінення на механічні властивості порушених приповерхневих шарів монокристалів ГГГ.