Селецька О. О. Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для визначення часу плазмохімічного травлення

Об'єктом дослідження є процес перетворення освітленості у частотний сигнал у чутливих напівпровідникових структурах; методи дослідження ґрунтуються на використанні основних положень теорії функції комплексної змінної для визначення функції перетворення та рівняння чутливості; теорії розрахунку нелінійних електричних кіл з використанням законів Кірхгофа для визначення повного опору радіовимірювальних оптичних перетворювачів. Наукова новизна: вперше запропоновано метод використання реактивних властивостей транзисторних структур з від'ємним опором для створення перетворювачів освітленості випромінювання плазми, що працюють за принципом "освітленість - частота - час плазмохімічного травлення"; вперше запропоновано метод визначення часу процесу плазмохімічного травлення, який відрізняється від існуючих тим, що використовуються залежності в часі освітленості відповідних спектральних ліній і смуг та частотне перетворення аналогового сигналу; удосконалено математичні моделі оптичних перетворювачів, в яких враховано вплив освітленості на елементи нелінійних еквівалентних схем перетворювачів на основі МДН- та біполярної транзисторної структури з від'ємним опором. Ступінь упровадження - результати досліджень впроваджено у НДІ індикаторних приладів "Гелій" (м. Вінниця) та у навчальний процес при вивченні курсу "Напівпровідникові перетворювачі інформації" у ВНТУ. Сфера (галузь) використання - на підприємствах мікроелектронної промисловості України в системах управління технологічними процесами.