Ломакіна О. В. Оптичні властивості тонких плівок Мо, Ті, Cr і перехідних шарів на них

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0411U003133

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.05 - Оптика, лазерна фізика

28-03-2011

Спеціалізована вчена рада

Д 26.001.23

Київський національний університет імені Тараса Шевченка

Анотація

Дисертація присвячена вивченню впливу перехідних шарів на тонких плівках Mo,Ti,Cr на еліпсометричні параметри відбитого від них світла. В роботі отримано на основі запропонованої тришарової моделі значення оптичних констант тонких плівок Mo, Ti, Cr, що не залежать від товщини плівок, визначені товщини і склад всіх шарів плівок.Розроблено нову методику розрахунку дисперсії показника заломлення і товщини тонких поверхневих шарів сонячних елементів. Запропоновано бішаровий сенсор на основі тонких плівок Mo – Au з чутливістю до малих молекулярних забруднень 0.5 нм.

Файли

Схожі дисертації