Сілкін М. Ю. Формування та діагностика пучків іонів для іонно-променевих методів модифікації поверхні

Дисертація присвячена розробці методів формування та діагностики пучків іонів для сучасних задач іонної імплантації та іонно-стимульованого осадження. Методом чисельного (PIC - Particle-in-Cell) моделювання досліджена динаміка частинок плазмово-пучкового потоку в аноді з експандером джерела іонів. На підставі експериментальних та чисельних досліджень оптимізовано параметри емісійно-фокусуючої системи джерела іонів з перерозподілювальним електродом. Роз-роблено газо-металеве джерело іонів зі стабільними характеристиками, сформовані пучки та реалі-зований широтно-імпульсний режим роботи джерела з програмованим відношенням газової та ме-талевої компоненти іонного струму в імпульсі. Експериментально встановлена залежність інтенси-вності акустичної емісії та амплітудного спектру від дози імплантації іонів азоту у сплав WC-6Co. На підставі досліджених залежностей акустичної емісії запропонований та реалізований альтерна-тивний електричному, радіаційно-акустичний метод контролю іонного опромінювання та пучка іо-нів. Створено монітор широких пучків іонів та вдосконалено стандартні методи діагностики пучка та процесу іонно-променевої обробки.